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射频电源维修的常见故障及维护方法
编辑:上海蕊恺电子有限公司   时间:2021-07-13

  现在很多企业因为生产需要,会引进各种生产设备,这些设备需要大功率运行。因此,在一定程度上,需要电压和电流。尤其是在一些化工产品的生产中,在设备中的电流和电压保持在一个相对稳定的水平之后,其实可以带来更高的生产效率。射频电源是许多企业生产过程中常用的设备之一。这类设备使用频繁,经常遇到各种生产环境、操作方法和故障也就不足为奇了。

  射频电源的用途和工作原理是在涂装设备中使用射频电源,通过设备中的功率放大器模块产生高频电压和电流,将常规使用的50/60MHZ的220V电压和频率转换为13.56MHZ的可变电压和电流..在半导体制造工业中,该电源用于生产半导体器件如芯片和处理器、平板显示器如薄膜太阳能电池和液晶的过程中。它是一种产生等离子体的匹配电源,由射频电源、阻抗匹配器和阻抗功率计组成。它是我国上世纪80年代末出现的高新技术领域,用于射频溅射、PECVD化学气相沉积、反应离子刻蚀等设备。

  射频电源维修可以从两个方面进行,一是断电情况下的观察,二是通电测试。停电时,可通过“看、闻、问、测”确定开关电源损坏原因。

  看:射频电源维修的外壳,检查保险丝是否熔断,然后观察电源内部情况。如果在电源的PCB板上发现烧斑或元器件破损,应在此处检查元器件及相关电路元器件。气味:闻电源内部是否有烧焦气味,检查是否有烧焦部件。问:问电源是如何损坏的,是否违规操作。数量:通电前,用万用表测量高压电容器两端的电压。如果故障是由于开关电源无振动或开关管开路引起的,多数情况下高压滤波电容两端电压不放电,电压超过300伏,要小心。用万用表测量交流电源线两端的正向和反向电阻以及电容器的充电情况。电阻值不能太低,否则电源内部可能会短路。电容器应该能够充电和放电。当负载断开时,分别测量每组输出端的接地电阻。正常时,时钟应有电容充放电摆幅,指示应为道路泄放电阻的电阻值。

  射频射频电源维修不局限于电源本身,往往需要根据其他连接因素来判断。现在,维修人员也会记录这种类型电源的数据,以便在后续出现问题时作为参考和比较数据。


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