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RF射频电源维修
编辑:上海蕊恺电子有限公司   时间:2022-04-18

  RF射频电源是很多企业生产过程中常用的设备之一。这种设备使用频繁,经常遇到各种生产环境、操作方法、故障也就不足为奇了。

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  射频电源的用途和工作原理是射频电源用于镀膜设备中,通过设备中的功放模块产生高频电压和电流,将常用的50/60MHZ的220V电压和频率转换成可变的13.56MHZ电压和电流。在半导体制造业中,这种电源用于生产芯片和处理器等半导体器件,以及薄膜太阳能电池和液晶等平板显示器。它是产生等离子体的匹配电源,由射频电源、阻抗匹配器和阻抗功率计组成。它是我国80年代末新兴的高科技领域,应用于射频溅射、PECVD化学气相沉积、反应离子刻蚀等设备。

  RF射频电源维修可以通过两个方面进行,一是断电情况下的观察,二是通电测试。在停电的情况下,可以通过“看、闻、问、测”来确定开关电源的损坏原因。

  看RF射频电源维修的外壳,检查保险丝是否熔断,然后观察电源内部情况。如果电源的PCB烧坏或者元器件坏了,你要在这里检查元器件和相关电路元件。气味:闻闻电源内部是否有烧焦的组件。问:询问电源损坏情况,电源是否存在违规操作。数量:通电前,用万用表测量高压电容两端的电压。如果故障是由于开关电源故障或开关管开路引起的,多数情况下高压滤波电容两端电压没有放电,超过300伏,要小心。用万用表测量交流电源线两端的正负电阻和电容器的充电情况。电阻值不能太低,否则电源内部可能会短路。电容器应该能够充电和放电。当负载断开时,分别测量每组输出端子对地电阻。正常时,指针应有电容充放电摆动,指示值应为该路放电电阻的电阻值。

  RF射频电源维修不仅仅局限于电源本身,很多情况下还需要根据其他接触因素来判断。现在维修人员还会记录该类型电源的数据,以便后续出现问题时作为参考和对比数据。


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